¿ì¸®¸»·Î Àú¿Â µ¿½Ã¼Ò¼º ¼¼¶ó¹Í À̶ó°í ÇØ¼®µÇ´Â LTCC´Â °íÁÖÆÄ Åë½Å¿ë ¼öµ¿¼ÒÀÚ¿¡ ¸¹ÀÌ Àû¿ëµÇ°í ÀÖ´Ù.
º¸Åë ȸ·Î°¡ ¸¸µé¾îÁú¶§, ±âÆÇÀº ±âÆÇ´ë·Î ¸¸µé°í ±× À§¿¡ ±Ý¼ÓÀ» ÀÔÈ÷´Â ¹æ½ÄÀÌ ÀϹÝÀûÀÌÁö¸¸, ÀÌ·± ¹æ¹ýÀº ÁýÀûÈ¿¡ ¸¹Àº °É¸²µ¹ÀÌ µÈ´Ù.
LTCC´Â ¸» ±×´ë·Î Àú¿Â¿¡¼ (Low temperature) ±Ý¼Ó°ú ±× ¼¼¶ó¹Í ±âÆÇÀÌ ÇѲ¨¹ø¿¡ ¸¸µé¾îÁö´Â (Co-fire) °øÁ¤±â¼ú°ú ±× °á°ú¹°µéÀ» ÁöĪÇÑ´Ù.
Á¾·¡ÀÇ À¯Àüü ¼¼¶ó¹ÍÀ» ÅëÇÑ °í¿Â¼Ò¼º¹æ¹ýÀº, ±× Ư¼º»ó Pt, Pd¿Í °°Àº °í°¡ÀÇ ±Ý¼ÓÀ» »ç¿ëÇØ¾ß Çϴµ¥, ÀÌ ±Ý¼ÓµéÀº °¡°Ý¸»°íµµ Àü¼Û¼Õ½ÇÀÌ Å©´Ù´Â ´ÜÁ¡À» ¾È°í ÀÖ¾ú´Ù.
ÇÏÁö¸¸ Glass °è¿ ȤÀº ±×°ÍÀ» ¼¯Àº ÇüÅÂÀÇ ¼¼¶ó¹ÍÀ» »ç¿ëÇϸé 800~1000µµ Á¤µµ¿¡¼ ±Ý¼ÓÀ» ÀÔÈù ±âÆÇµéÀ» ¾ÐÂø¼Ò¼º½Ãų ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, °íÁÖÆÄ¿¡¼ Ư¼ºµµ ÁÁ´Ù.
ÀÌ·± LTCC ¹æ¹ýÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¸é ¹Ú¸·´ÙÃþ ȸ·Î°¡ ±¸¼ºÀÌ °¡´ÉÇѵ¥, ƯÈ÷ Inductor°°ÀÌ µ¢Ä¡°¡ Å« ¼ÒÀÚ¸¦ ±¸ÇöÇÒ¶§ À¯¸®ÇÏ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î MMIC³ª RFICµîÀÇ Ä¨ ´ÙÀÌ À§¿¡ Inductor¸¦ ¿Ã¸®·Á¸é ±× Å©±â ¶§¹®¿¡ ¼ÕÇØ°¡ ¸¹Àºµ¥, À̰ÍÀ» LTCC·Î ÇÏ¿© ¹Ø¿¡ ±ò¾Æ¹ö¸± ¼öµµ ÀÖ°í, ¿ÜºÎ¿¡ ³ª°¡¾ß ÇÒ ¼ÒÀڵ鵵 ¹Ú¸·ÇüÅ·ΠĨ ¹Ø¿¡ ±ò¾Æ¼ °ø°£À» Àý¾àÇÒ ¼öµµ ÀÖ´Ù.
ÀÌ·¯ÇÑ LTCC °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© À§¿Í°°ÀÌ MMIC/RFIC¿Í ÁýÀûµÇ´Â ³»ºÎ¼ÒÀÚ »Ó ¾Æ´Ï¶ó, C,L µîÀÇ ÀÏ¹Ý ÀûÃþÇü ´ÜÀ§¼öµ¿¼ÒÀÚ¸¦ ¸¸µé°Å³ª Chip Coupler¿Í °°Àº ¼öµ¿¼ÒÀÚ¸¦ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù.
LTCC´Â ÁÖ·Î Àç·á°øÇÐ, ±×Áß¿¡¼µµ ¼¼¶ó¹Í°ú °°Àº ¹«±âÀç·á¸¦ ¿¬±¸ÇÏ´Â ºÐ¾ß¿¡¼ ÁÖ·Î ´Ù·çÁö¸¸, ±× ¿ëµµ°¡ °íÁÖÆÄ Åë½Å¿ëÀ¸·Î ¸¹ÀÌ »ç¿ëµÇ±â ¶§¹®¿¡ RFÀÇ ÇÑ ºÐ¾ß·Î ´Ù·ç±âµµ ÇÑ´Ù.
|