우리말로 초소형전자정밀기계 라고 번역되는 MEMS는, 말 그대로 전자적인 제어,측정되는 초소형 기계장치류를 의미한다.
마치 어릴적 공상과학 소설에 나옴직한 그런 초정밀 전자기계를 생각하면 된다. 기본적으로 반도체 공정을 통한 초정밀 장비지만 단순히 전자적인 동작을 하는게 아니라 뭔가 기계적으로 움직이는 요소가 가미된 것이다. (반도체와는 확연히 구분되는 특징이다)
예를 들어 우리 생활에 가장 많이 보급된 MEMS 장비중 하나는 자동차 에어백의 속도센서(accelerometer)이다. 아주 작은 크기여야만 미세한 속도변화를 감지하여, 내부의 어떤 속도판의 움직임을 전압이나 전류로 변화하여 에어백이 동작할지 말지를 결정한다. MEMS는 이런 이유로 초소형 센서로서의 응용사례가 매우 많다.
MEMS는 너무나도 작은 미세한 영역을 다루기 때문에 우리가 알고있는 일반 물리와 동작특성이 많이 다르다. 미세한 영역에서는 우리가 윤활유라 불리우는 기름도 엄청나게 마찰이 심한 물질이 되기도 하고, 물리학의 법칙에 정확히 들어맞지 않는 깃털 하나의 무게가 엄청난 중력을 지니기도 한다. 그래서 그 어떤 분야보다 연구와 개발, 상용화에 많은 난점을 지닌 분야이다.
MEMS의 전반적인 응용범위는 아래와 같다.
1. 광학용 : Optical mirror, switch, waveguide
2. 센서 : 속도계, 압력 센서, 중력계
3. 모터 : 초소형 모터, 기어
4. 생체학 : DNA 칩, 마이크로 펌프, 체태 수술 로봇
5. RF : 저잡음 장비, 도파관, 필터, inductor, Switch
RF에서는 여러가지 초소형 RF 장비로의 연구개발이 이루어지고는 있으나 공정의 난점이 많아서 상용화가 더딘 편이다.
참고>
MEMCAD 의 제작사 코벤터 http://www.coventor.com
>> 상당히 많은 정보를 얻을 수 있다.
관련연구실 및 웹사이트 (찾아보면 무지 많지만 몇개만 예시함)
http://hyunam.tnut.ac.kr/~electro/lecture/b/electronics/a4.htm
http://mems.kaist.ac.kr/
http://iml.kaist.ac.kr/
http://www.microsystek.co.kr/frame1.htm
http://mems.ajou.ac.kr/
http://precimech.kjist.ac.kr/~laser/
http://mems.isi.edu/
http://www.iftf.org/html/iftflibrary/technology/sensors.pdf
http://www.mcnc.org/
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조회수:4715
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용어등록 : 운영자 [2001-07-13]
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MEMS기술은 크게, 몸체가공기술(Bulk micromachining technology)와
표면가공기술(Surface micromachining technology)로 나눠지며
몸체가공기술의 대상은 가격이 싸고, 기계적,전기적 특성이 좋은
실리콘을 이용하며, 이를 이용하여 가속도 센서, 자이로스코프,
관성센서등을 만들수 있으며, 또한 CMOS회로기술과 접합하여 고 부가가치의제품을 만들수 있다.
국내의 MEMS 공정을 할수 있는 FAB Foundary는 기업체인 삼성, LG
외에 대학으로는 서울대학교 반도체 공동 연구소가 있다.
http://www.isrc.snu.ac.kr
덧글등록 : nxchul [2001-07-25]
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10GHz이상등의 고주파에서는 MEMS공정기술을 이용하여,
Capacitor및 필터,Duplexer, FBAR등을 만든다. 이를
RF기술에 접목 시켰다고 하여, RF MEMS라고도 한다.
덧글등록 : nxchul [2001-07-25]
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